Disiliciure de Molybdène>>

Pâte de résistance au disilicide molybdène

Pâte de résistance au disilicide molybdène après amélioration habituellement utilisée dans les produits électroniques grand public. Au début, les circuits intégrés hybrides et les résistances de séparation partielle utilisent généralement des métaux précieux à base de ruthénium glacis pâte d'électrode de verre, mais le ruthénium a un prix élevé et par kilogramme est d'environ ¥ 2 millions, et ne peut donc pas être largement utilisé. La pâte de résistance de disilicide de molybdène avait été développée dans les années 1960, mais en raison du grand coefficient de température (≤500ppm / ℃), grande sensibilité de frittage, ainsi pas obtenu la promotion et l'application. Avec les progrès de la science et de la technologie, les chercheurs ont produit de nouveaux MoSi 2 pâte de résistance. Cette nouvelle pâte de résistance MoSi 2 a un faible coefficient de température (moins de 300ppm / ℃) et une sensibilité au frittage, une bonne stabilité. En outre, la performance est proche de ruthénium, de sorte qu'il peut répondre à la demande des produits électroniques grand public.

Disilicide de molybdène

Résistance au disilicide au molybdène
Les principaux facteurs affectant la performance de la résistance sont la caractéristique du liant et de la phase conductrice. Les liants peuvent lier la phase conductrice au substrat et peuvent former un film dense, de sorte que le matériau de la phase conductrice doit bien s'infiltrer dans le liant et le coefficient de liant doit correspondre à la phase conductrice. Selon MoSi 2 propriétés électriques, devrait augmenter le module d'élasticité du liant de verre pour réduire le coefficient de température de la résistance. Pour réduire la résistivité, on peut doper le MgO dans la suspension pour ajuster le TCR.

Il existe deux méthodes pour améliorer le coefficient de température de conductivité et envahissantes, une méthode de compensation qui ajoute un coefficient de température négatif de la phase conductrice pour compenser le coefficient de température positif de MoSi 2 . La seconde méthode est pré-frittée, le MoSi 2 devrait être pré-fritté à haute température et MoSi 2 oxygénolyse au-dessus de 500 ℃. Après décomposition oxydante, il ya une couche de revêtement de MoO3 sur la surface des particules MoSi . MoO 3 a une meilleure invasivité avec le revêtement de verre, améliorant ainsi les performances de la phase conductrice.

Pour préparer une meilleure pâte de résistance au disilicide molybdène devrait également améliorer ses processus de production. Pendant le processus de frittage doit envelopper la poudre disilicide de molybdène, couper l'air, ce qui peut empêcher MoSi 2 décomposition oxydante à environ 500 ℃, donc en utilisant le procédé de frittage secondaire peut améliorer la sensibilité et la résistance du frittage en suspension Résistance.

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