Cible carrée de molybdène
La cible carrée de molybdène est l'un des produits de la cible de molybdène.
Propriétés physiques: densité: 10.2 g / cc, point de fusion: 2610 ℃, point d'ébullition: 5560 ℃, pureté: ≥99.95%, forme: carré.
Propriétés: le molybdène a un point de fusion élevé, une conductivité électrique élevée, une faible impédance spécifique, une bonne résistance à la corrosion et une bonne performance environnementale.
Applications: Dans l'industrie électronique, la cible de pulvérisation de molybdène est principalement utilisée dans les écrans plats, les cellules solaires à couche mince, les matériaux de câblage et les matériaux de barrière des semi-conducteurs. En plus de l'industrie de l'affichage à écran plat, avec le développement de nouvelles industries de l'énergie, les cibles de pulvérisation de molybdène utilisé dans les cellules photovoltaïques à couches minces a progressivement augmenté.
Exigences de propriétés: Afin d'augmenter la vitesse de pulvérisation de cible de molybdène et pour assurer la qualité des films déposés, il y a quelques propriétés comme suit.
1. Pureté: cible de molybdène à haute pureté, meilleure est la performance du film pulvérisé. La pureté générale du molybdène cible devrait atteindre 99,95%, mais avec l'amélioration continue de l'industrie LED, la taille du substrat de verre continue à s'améliorer et la longueur du câblage devrait être prolongée. En outre, la largeur de la ligne doit être plus mince. Afin d'assurer la qualité de l'uniformité du film et du câblage, les exigences de pureté cible ont été augmentées. Molybdène cibles substrat en verre utilisé sa pureté devrait dans 99,99% à 99,999% ou même plus.
2. Densité: Lors de la pulvérisation, la cible de molybdène à faible densité a subi un bombardement parce que le gaz libérera de l'air interne vide de cible de molybdène, ce qui entraînera un éclaboussement des particules cibles de grande taille ou le film après le second bombardement électronique pour provoquer des éclaboussures, La qualité du film. En général, la densité requise doit être supérieure à 98%.
3.La taille des grains et la distribution de taille: Habituellement, la cible de pulvérisation de molybdène est la structure polycristalline et la taille peut être de microns à millimètres. Le taux de pulvérisation cible du molybdène à grain fin est plus rapide que celui des grains secondaires. La plus petite différence entre la granulométrie de la cible, la distribution d'épaisseur de film déposée est plus uniforme.
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