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フラットMoターゲット

平面ターゲット画像

形状に応じてスパッタリングターゲットモリブデンは平坦モリブデンターゲット、マルチアークターゲット、回転可能なターゲットに分割することができます。モリブデンターゲット面は、主に円形のターゲットと一定の厚さを有する長方形の対象を意味します。薄型スレッドのターゲットスパッタ装置など、真空下で基板に付着スパッタ膜に接続され、その後、フィルム処理のためのすべての手段(エッチング)することにより、さまざまなニーズを満たすために。

次のように調製法面のモリブデンターゲットは、次のとおりです。
1.シルトモリブデンの固体スラブを製造するためのゴム型キットに置かれた原料。
2.その後、冷間静水圧プレス成形圧力300-400Mpa、8分、固体スラブを形成します。
3.水素炉を導入し、中間周波数の焼結炉の固体スラブに成形した後、加熱温度は2300℃であった。C、加熱時間は28時間で、10時間冷却水循環した後、停止した後、室温まで待機成形体を冷却します。
4.1500度] Cに処理された形状のスラブ加熱は、加熱時間は、マシンを形成し、熱間圧延ロールを除去した後、2時間です。
5.スラブ処理された加工は、モリブデンターゲット面を生成しました。

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