Cible rotative de molybdène
La cible de rotation du molybdène est une sorte de cible de commande magnétique et elle est typiquement produite sous une forme cylindrique, où est équipée d'un aimant stationnaire, donc en cours de fonctionnement, elle ralentit pour tourner. Les spécifications communes du produit sont les suivantes: ID-133 / OD-157x 3191mm; ID-133 / OD-157 X 3855 mm; ID-160 / OD-180x1800mm. Chinatungsten en ligne peut offrir une variété de taille conventionnelle molybdène cible rotative et les produits peuvent également être traités en conformité avec les exigences spécifiques du client.
La cible de rotation du molybdène a de bonnes performances, telles que la température de fonctionnement élevée (habituellement la température de fonctionnement 1800 ℃, la température maximale 2310 ℃), haute densité (19.2 g / cc), haute pureté (99.95%), tellement couramment utilisé pour les cellules solaires, architecture Verre, verre automobile, semi-conducteurs, production de télévision à écran plat.
Les cibles rotatives de molybdène sont un moyen d'augmenter l'utilisation de la cible de pulvérisation de molybdène. Comparativement aux cibles planes de molybdène, les conceptions de la structure cible en rotation du molybdène peuvent présenter un avantage substantiel de la cible de pulvérisation de molybdène. La durée de vie du piège rotatif au molybdène est définie comme la puissance de pulvérisation cible de pulvérisation cathodique multipliée par le temps, ou l'épaisseur totale qui peut être déposée sur le substrat. Par rapport à la cible plane, la différence de structure et de conception de la géométrie pour faire en sorte que la cible en rotation améliore l'utilisation de la matière cible. Le taux d'utilisation de la cible plane de molybdène est de 30% ~ 50% et les cibles rotatives de molybdène sont & gt; 80%. De plus, si la durée de service de la cible est la puissance de pulvérisation multipliée par le temps de pulvérisation, puis la durée de vie de la cible rotative de molybdène est cinq fois plus longue que la cible plane. Ce qui est plus, pendant la pulvérisation cathodique, les cibles rotatives de molybdène sont en rotation constante, donc il ne produira pas de phénomène re-déposé sur sa surface.
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