Molibdeno Magnetron Obiettivo di polverizzazione
Molibdeno magnetron sputtering principio di funzionamento di destinazione è l'elettrone sotto l'azione del campo elettrico E, nel processo di volare alla collisione substrato con gli atomi di argon per ionizzare e produrre Ar ioni positivi ed elettroni nuovi. I nuovi elettroni volano al substrato e ioni Ar sotto l'azione del campo elettrico accelerato volare al bersaglio catodo con bombardamenti ad alta energia sulla superficie di destinazione, in modo da rendere lo sputtering destinazione.
Nelle particelle sputtering, gli atomi bersaglio neutri o molecole depositate sul substrato per formare una pellicola sottile. D'altra parte, gli elettroni secondari generati sono sottoposti a campi elettrici e magnetici, con conseguente E (campo elettrico) × B (campo magnetico) deriva, e la sua traiettoria è simile al magnetron sputtering cicloide. Nel caso del campo magnetico anulare, elettroni faranno movimento circolare con forma approssimativamente cicloide sulla superficie di destinazione e il loro percorso di movimento non è solo molto lunga ma anche delimitata nella regione di plasma vicino alla superficie del bersaglio. Inoltre, in questa regione si ionizzare una grande quantità di Ar per bombardare il bersaglio, ottenendo così elevata velocità di deposizione. Con l'aumento del numero di collisioni, l'energia degli elettroni secondari è esaurita, e gradualmente dalla superficie di destinazione, e infine depositato sul substrato sotto l'azione del campo elettrico E.
bersaglio molibdeno magnetron sputtering ha ad alta resistenza, ad alta temperatura, resistenza all'usura, resistenza alla corrosione e altre prestazioni eccellenti. La purezza è 99,95% e la densità è 10,2 g / cm3. Punto di fusione è 2610 ℃ e punto di ebollizione è 5560 ℃. Secondo la forma i tipi di destinazione di molibdeno includono magnetron sputtering rettangolare bersaglio, bersaglio magnetron sputtering circolare e cilindrica obiettivo sputtering magnetron tubo. obiettivi sputtering sono utilizzati principalmente in elettronica e informazioni del settore, come ad esempio i circuiti integrati, di information storage, display a cristalli liquidi, della memoria laser, dispositivi di controllo elettronici. Inoltre, può anche essere applicato al rivestimento protettivo di vetro e può essere utilizzato anche in materiali resistenti all'usura, elevata corrosione temperature, prodotti decorativi fascia alta e altre industrie.
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