Aereo Molibdeno target
Molibdeno sputtering destinazione secondo la forma può essere diviso in un bersaglio di molibdeno aereo, bersaglio di molibdeno multi-arco, porta molibdeno e così via rotante. Aereo bersaglio di molibdeno si riferisce principalmente al bersaglio circolare e rettangolare bersaglio avere un certo spessore. Il bersaglio di molibdeno solito collega con l'apparecchiatura di polverizzazione mediante raccordo filettato.
processi produttivi piano bersaglio molibdeno sono i seguenti: 1. Mettere la materia prima in stampo in gomma impostato per ottenere nucleo solido piastra limoso di molibdeno in bianco; 2. Poi premere per isostatica a freddo con la pressione 300-400Mpa, dopo 8 minuti possono ottenere lastra solida; 3. Per mettere la lastra solida in forno di sinterizzazione frequenza intermedia, passando per l'idrogeno, riscaldamento a 2300 ℃, tempo di riscaldamento è di 28 ore. Dopo la circolazione dell'acqua di raffreddamento per 10 ore, raffreddata a temperatura ambiente possono ottenere vuoto; 4. Per riscaldare il vuoto a 1500 ℃, tempo di riscaldamento è di 2 ore, dopo la laminazione a caldo di laminazione rendono la forma fino; 5. Dopo la lavorazione può ottenere piano di destinazione di molibdeno.
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