單晶爐用鉬重錘
單晶矽具有基本完整的點陣結構,是晶體材料的重要組成部分,主要用於製作半導體元件、二極體、大功率整流器、大功率電晶體、開關器件等。後續產品積體電路和半導體分離器件已廣泛應用於各個領域,在軍事電子設備中也佔據重要地位。
半導體級矽單晶爐是單晶矽產業鏈中重要的晶體生長設備。單晶矽主要生長方法是區熔法和直拉法,其中直拉法具有單晶品質大、直徑大、成本低、生產效率高的優點,受到眾多單晶矽生產者的青睞。
直拉法是將一根受冷的籽晶與矽熔液接觸後熔化。當介面的溫度低於凝固點,則籽晶開始生長,為了使籽晶晶體不斷長大,需逐漸降低熔體的溫度,同時旋轉籽晶夾頭裝置,以改善熔體的溫度分佈。當晶體生長到一定階段時,須緩慢上提籽晶夾頭裝置,以擴大散熱面。因此,直拉法矽單晶爐內的籽晶夾頭裝置的可靠性和穩定性至關重要。
鉬重錘主要用來連接鉬籽晶夾頭和鎢絲繩,在籽晶夾頭提拉晶體過程中起穩定垂直的作用。一般重7~18千克。單晶爐熱場要求所使用材料具有耐高溫、低污染、抗高溫蠕變等特性,因此金屬鎢與鉬被廣泛用來做熱場的各個部件,如鎢坩堝、鉬坩堝、鎢杆發熱體、鉬隔熱屏、鉬導流筒、舟皿等。
作為熱場用材料,鉬重錘中鉬含量不低於99.95%,同心度與鉬籽晶夾頭一樣的要求,公差±0.02mm以內,螺紋口要求光滑,產品光潔度要求高。產品根據圖紙定制加工。
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