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掺钼氧化锌
掺钼氧化锌薄膜最低电阻率为9.4x10-4Ω·cm，相应载流子迁移率为27.3cm2V-1s-1，载流子浓度为3.1x1020cm-3。在可见光区域的平均透射率大于85%，折射率（550cm）为1.853，消光系数为7.0x10-3。另外，通过调节氧分压可以调节载流子浓度，禁带宽度随载流子浓度的增加由3.37增大到3.8eV，薄膜的载流子有效质量m*为0.33倍的电子质量。
氧化锌的光学禁带宽度约为3.37eV，对可见光的透明性很好，其透明导电薄膜的电阻率可以低至4.5x10-4Ω·cm，但是在温度超过150℃后薄膜性能就会变得不稳定，因此大大限制其应用。通过掺杂高温元素钼，可以提高其使用温度，扩大其应用领域。在氧化锌晶体中，以替位形式掺杂高价的钼粒子，掺钼氧化锌能更强烈的影响周围原子的电子分布，导致晶格的变化，从而在氧化锌的禁带中引入未知的能级，影响氧化锌的发光性能。采用磁控溅射法在石英基体上制备钼掺杂氧化锌薄膜，然后通过SEM和XRD结果表明，薄膜微结构和晶粒尺寸明显受钼掺杂的影响，所有薄膜对光的平均透过率较高。ZnO薄膜的PL谱显示，随着退火温度的增加，发光峰位置从380nm红移至400nm，或者从470nm红移至525nm。钼掺杂显著影响PL谱强度。
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