몰리브덴 로터리 타겟
목표 회전 몰리브덴 마그네트론은 일반적으로 동작 동안, 그 회전을 감속되며, 고정 자석을 구비하는 원통 형상으로 형성되어있는 타겟이다. 일반 제품 사양은 다음과 같습니다 : ID-133 / OD-157x의 3,191mm를, ID-133 / OD-157 X 3,855mm, ID-160 / OD-180x1800mm. 하문 텅스텐 온라인 기술 유한 회사는 고객의 특정 요구 사항에 따라 처리하는 기존의 크기 몰리브덴 로터리 타겟을 이용할 수 있습니다.
또한, 몰리브덴 타겟 온도를 회전하면, 최대 온도는 19.2 g / cc의 밀도는 99.95 %의 순도, 그래서 일반적으로, 태양 전지의 제조, 건축용 유리에 사용되는 2310 ℃로 1800 ℃로 된 바와 같이 양호한 성능을 갖는다 자동차 유리, 반도체, 평면 패널 텔레비전.
몰리브덴 로터리 타겟 몰리브덴 스퍼터링 타겟 이용률을 증가시키는 방법이다. 평면 타겟 몰리브덴에 비하여 몰리브덴 로터리 타겟 구조 디자인은 상당한 이점 몰리브덴 스퍼터링 타겟을 나타낸다. 수명 시간을 곱한 스퍼터링 타겟 스퍼터링 전력으로 정의하거나, 기판 상에 증착되는 물질의 총 두께이어야. 50 % 몰리브덴 타겟 평면에 30 %에서 대상 재료 이용률의 활용도를 높이기 위해 구조 및 디자인 변경에 몰리브덴 로터리 타겟 대 몰리브덴 대상 평면에서> 80 %의 몰리브덴 로터리 타겟을 증가시킬 수있다. 또한, 스퍼터링 전력, 스퍼터링 시간을 곱하면 타겟 재료의 수명이 긴 평면 타겟 5 배 수명보다 목표 회전 몰리브덴의 몰리브덴을 측정한다. 그것의 현상이 발생하지 않도록 몰리브덴 로터리 타겟 지속적으로, 스퍼터링 공정에서 회전하고 있기 때문에 표면에 재 증착.
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