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플랫 모 대상
형상에 따른 스퍼터링 타겟은 평평한 몰리브덴 몰리브덴 타겟 멀티 아크 목표 회전 타겟으로 나눌 수있다. 몰리브덴 타겟면은 주로 원형 타겟과 일정한 두께를 갖는 직사각형의 대상을 지칭한다. 평면 등 대상 스퍼터링 장치 나사 및 다른 요구를 충족하기 위해, 다음 막 처리 꼭 (에칭)에 의해, 진공 하에서 상기 기판에 부착 된 스퍼터링 막에 접속되어있다.
다음과 같이 준비 과정 평면 몰리브덴 대상은 다음과 같습니다 1.고무 몰드 세트에 배치 된 원료 미사 몰리브덴 솔리드 슬래브를 제조； 2.그런 다음 차가운 정수압 프레스 성형 압력 300-400Mpa 8 분 고체 슬래브를 형성 한 후； 3.수소로 도입, 중간 주파수 소성로의 솔리드 슬래브로 주조 한 후, 가열 온도가 2300 ℃로 하였다.] C, 정지 후, 실온으로 28 시간 냉각수 순환 후 10시간 냉각시키고 가열 시간 대기 몰딩 체 ; 4.1500 ℃,] C로 처리 된 형상의 슬래브 가열은 가열 시간은 성형 기계 열연 롤을 제거한 후 2 시간이고; 5.슬래브 처리 가공, 몰리브덴 타겟면을 만들었다.
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