Alvo de pulverização de molibdênio de alta pureza
O alvo de pulverização de molibdênio de alta pureza tem melhor desempenho do filme pulverizado e quanto maior a pureza, melhor será o desempenho. Os alvos de pulverização de molibdênio de alta pureza são usados principalmente no campo de semicondutores eletrônicos, displays e assim por diante. Esses campos têm maior exigência de pureza no alvo de molibdênio, geralmente 99,95%. Mas com o tamanho crescente do substrato de vidro na indústria de exibição de cristal líquido, é necessário ampliar o comprimento da fiação e a largura da linha mais fina. Para satisfazer esses requisitos, é necessário continuar a melhorar o desempenho do filme e melhorar as propriedades do alvo de sputtering. Para melhorar a pureza do alvo também pode melhorar o uniforme do filme e a qualidade da fiação, portanto, dependendo do tamanho e do ambiente de aplicação, a pureza dos alvos de pulverização de molibdênio deve atingir 99,99% ~ 99,999% ou mesmo superior a 99,999%.
Para produzir alvos de pulverização de molibdênio de alta pureza, deve usar pó de molibdênio de alta pureza como matéria-prima e também deve controlar rigorosamente o processo de produção, para evitar que as impurezas poluifiquem os produtos.
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