Objetivo giratorio de molibdeno
El objetivo de rotación del molibdeno es una especie de objetivo de control magnético y típicamente se produce en una forma cilíndrica, donde está equipado con un imán estacionario, por lo que durante el funcionamiento, se ralentizará para girar. Las especificaciones comunes del producto son las siguientes: ID-133 / OD-157x 3191mm; ID - 133 / OD - 157 X 3855 mm; ID-160 / OD-180x1800 mm. Chinatungsten Online puede ofrecer una variedad de tamaños convencionales de molibdeno rotatorio objetivo y los productos también pueden ser procesados de acuerdo con los requisitos específicos del cliente.
Objetivo de rotación de molibdeno tiene un buen rendimiento, como la temperatura de operación de alta (por lo general la temperatura de funcionamiento 1800 ℃, la temperatura máxima de 2310 ℃), alta densidad (19,2 g / cc), de alta pureza (99,95%), Vidrio, vidrio automotriz, semiconductores, producción de televisión de pantalla plana.
Objetivos rotativos de molibdeno es una manera de aumentar la utilización de objetivos de pulverización de molibdeno. En comparación con los dianas planas de molibdeno, los diseños de la estructura de diana giratoria de molibdeno pueden mostrar una ventaja sustancial del blanco de pulverización del molibdeno. El tiempo de vida del molino de rotación de molibdeno se define como la potencia de pulverización catódica de pulverización catalizada multiplicada por el tiempo, o el espesor total que puede depositarse sobre el sustrato. En comparación con el objetivo plano, la diferencia de estructura de la geometría y el diseño para hacer objetivo de rotación grande mejora la utilización del material diana. La tasa de utilización del objetivo del plano de molibdeno es del 30% ~ 50% y los objetivos de rotación del molibdeno son> 80%. Además, si la vida útil de la diana es la potencia de pulverización catódica multiplicada por el tiempo de pulverización catódica, y entonces la duración del servicio de rotación del molibdeno es cinco veces mayor que la del plano. Es más, durante la pulverización, los objetivos de rotación del molibdeno están girando constantemente, por lo que no producirá fenómeno re-depositado en su superficie.
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