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高密度鉬靶材生產流程
高密度鉬靶材生產流程如下所示：等靜壓成型-中頻爐燒結-軋機軋製-機加工處理-檢測-成品。通過該生產工藝制得的鉬靶材內部結構的均勻性和晶粒尺寸、純度和表面尺寸能夠滿足越來越高的濺射工藝需求。
高密度鉬靶材生產流程:
1.選取優質的鉬粉，採用等靜壓工藝進行第一次緻密化處理，形成鉬靶材坯料；
2.將鉬靶材坯料放置于包套中，並抽真空；
3.採用冷等靜壓工藝將包套內的鉬靶材坯料進行第二次緻密化處理；
4.經過第二次緻密化處理後，去除包套，採用感應燒結工藝將經過第二次緻密化處理的鉬靶材坯料進行第三次緻密化處理，形成第三次鉬靶材坯料；
5.第三次緻密化處理後，採用熱軋工藝將第三鉬靶材坯料進行軋製，形成第四鉬靶材坯料；
6.經過熱軋工藝後，對第四鉬靶材坯料進行退火處理形成鉬靶材。
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