鉬旋轉靶

鉬旋轉靶圖片

鉬旋轉靶是磁控的靶材,通常被做成圓筒形的,裏面裝有靜止不動的磁體,在操作過程中,會以慢速轉動。常見的產品規格如下所示:ID-133/ OD-157x 3191mm;ID-133/OD-157 X 3855mm;ID-160/OD-180x1800mm。廈門中鎢線上科技有限公司提供各種常規尺寸的鉬旋轉靶,也可以根據客戶的具體要求加工。

它具有良好的性能要求,如鉬旋轉靶的使用溫度是1800°C,最高使用溫度是2310°C,密度是19.2克/立方釐米,純度是99.95%,因此常用於製備太陽能電池,建築玻璃,汽車玻璃,半導體,平板電視等。

鉬旋轉靶是提高鉬濺射靶材利用率的一種方法。 相比鉬平面靶材,採用鉬旋轉靶結構的設計顯示出鉬濺射靶材的實質性優勢。靶的壽命定義為濺射功率乘以濺射時間,或者是能在基板上澱積材料的總厚度 。從鉬平面靶到鉬旋轉靶在幾何結構和設計上的變化增加了靶材的利用率,利用率從鉬平面靶的30% ~ 50%可增加到鉬旋轉靶的> 80%。 此外,如果以濺射功率乘以濺射時間來衡量靶材料的壽命,則鉬旋轉靶的壽命要比鉬平面靶長5倍。由於鉬旋轉靶在濺射過程中不停地旋轉,所以在它的表面不會產生重沉積現象。

如果您對我司的鉬靶材感興趣,請隨時通過電子郵件:sales@chinatungsten.com sales@xiamentungsten.com 或電話:0592 512 9696與我們聯繫。