モリブデンをドープした酸化亜鉛

モリブデンドープ9.4x10-4Ωの酸化亜鉛薄膜最低抵抗率・cmで、対応するキャリアの移動度は27.3cm2V-1S-1、3.1x1020cm-3のキャリア濃度でした。 85％以上の可視光領域における平均透過率、1.853の屈折率（550センチ）、7.0x10-3の吸光係数。また、酸素分圧は、キャリア濃度を調整することにより、バンドギャップが3.8eV、キャリア有効質量m *フィルム電子の0.33倍の質量の3.37からロードキャリア濃度が増加すると共に増加します。

酸化亜鉛の光学バンドギャップが可視光に対して透明では非常に良いですが、3.37eV程度で、透明導電膜の抵抗率は・4.5x10-4Ωセンチと低くすることができますが、温度がフィルムの特性となった後、150℃を超えます不安定な、大幅にアプリケーションを制限します。高温要素のモリブデンをドープすることによって、そのアプリケーションを展開するために、その温度を増加させることができます。酸化亜鉛結晶は、高価なモリブデンの置換ドーピング粒子の形で、モリブデンをドープした酸化亜鉛は、酸化亜鉛の未知のエネルギーバンドギャップを導入し、原子の周りの電子の分布に影響を与える格子の変化をもたらすより強くすることができレベル、酸化亜鉛の発光特性の影響。酸化亜鉛薄膜をドープした後、SEMにより及びXRDの結果は、フィルムの微細構造および結晶粒径が大きくドープモリブデンの影響により影響を受けることを示し、全ての光フィルムの平均透過率は石英基板を調製モリブデン上にマグネトロンスパッタリングによって高いです。酸化亜鉛薄膜のPLスペクトルは、アニール温度の上昇とともに、発光ピーク位置は、380nmから400nmの赤から移動470nmのまたは赤色525nmから移動することを示します。ドープされたモリブデンが大幅に強度のPLスペクトルに影響を与えます。

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