六フッ化モリブデン

また、フッ素化されたモリブデンとして知られている六フッ化モリブデン（六フッ化モリブデン）は、白色の結晶塊です。次のようにその物理的特性は以下のとおりです。分子式：MoF6、密度2.55lg/立方センチメートル（液体、17.5℃）、融点：17.5℃、沸点：35℃。乾燥空気、塩素の場合には、二酸化硫黄が反応しないが、湿った空気に敏感な反応は、青色モリブデン酸化物を生成することができる、大量の水を溶解し分解し、室温で強力な酸化剤の存在は、侵食ができるで以下のように、その化学的性質であります種々の金属（金、白金を除く）、金属表面が青色になり、アルカリ性化合物M21[MoF8]でフッ化物錯体を生成します。

モリブデン六フッ化は、システム内の60℃に加熱し、このような乾燥フッ素を通じてとして、白金チューブにモリブデン粉末によって得ることができます。さらに、真空蒸留によって回収-5〜5℃でMoF6粗得ることができます。これは主にモリブデンの同位体を分離するために使用され、それはまた、低抵抗、高融点相互接続の製造のための、マイクロエレクトロニクス産業におけるモリブデンまたはモリブデンシリサイドの化学気相蒸着法として使用することができます。同時に、それはまた、イオンドーピングのための強力なフッ素化剤と膜形成材料として用いることができます。

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