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高密度モリブデンターゲット製造プロセス
次のように高密度モリブデンターゲットの製造方法は次のとおりです。静水圧プレス - 焼結炉MF - ローリング - 機械加工 - 検出 - 完成しました。均一性および粒子サイズによって、製造工程の純度及び表面の寸法は、スパッタリングプロセスのために、ますます高い要求を満たすために、モリブデンターゲットの内部構造を得ました。
高密度モリブデンターゲットの製造方法。
1.品質のモリブデン粉末、初めてHIP緻密化プロセスを用いて、モリブデンターゲットブランクを形成します。
2.スリーブに入れ、排気モリブデンターゲットブランクパッケージ。
第二の高密度化プロセスのための空白のジャケットモリブデンターゲットパケットを押す3.冷間静水圧。
前記第二の緻密化工程の後、包装、誘導焼結工程の除去は、第3の時間緻密化プロセスのための第二の緻密化工程モリブデン対象株式に供され、ブランクの第モリブデンターゲットを形成します。
モリブデンターゲットブランクの第三の熱間圧延プロセスを使用して前記第三の緻密化工程は、第四のブランクモリブデンターゲットを形成するように巻かれています。
6.熱間圧延工程の後、ブランクに形成される第4のモリブデンターゲットはモリブデンターゲットをアニールします。
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