ターゲットを回転モリブデンマグネトロンは、ターゲットである典型的動作の間、固定磁石を備えている円筒状に形成され、その回転を遅くします。一般的な製品仕様は以下のとおりである：ID-133 / OD-157xの3191ミリメートルを、ID-133 / OD-157 X 3855ミリメートル、ID-160 / OD-180x1800mm。アモイタングステンオンライン技術有限公司は、顧客の特定の要件に従って処理する従来のサイズモリブデンロータリーターゲットをご用意しております。

これは1800℃であり、最高温度は非常に一般的に太陽電池の製造に使用される2310℃の19.2グラム/ ccの密度、99.95％の純度、建築用ガラスであるモリブデンが目標温度に回転されるように、良好な性能を有しています自動車ガラス、半導体、フラットパネルテレビ。

モリブデン回転ターゲットはモリブデンスパッタリングターゲットの利用率を向上させる方法です。平面ターゲットモリブデンと比較して、モリブデン回転ターゲット構造設計は、実質的な利点モリブデンスパッタリングターゲットを示します。寿命は、時間を掛けたスパッタリングターゲット、スパッタリングパワーとして定義される、または基板上に堆積される材料の総厚さであること。ターゲット面からモリブデン30％〜50％のモリブデンターゲット面からのターゲット材料の利用率が利用率を高めるために幾何学的形状及び設計変更モリブデン回転ターゲットは、> 80％のモリブデン回転ターゲットを増加させることができます。また、スパッタリングパワー、スパッタリング時間で乗算された場合に、ターゲット材料の寿命、長い平面ターゲットの5倍の寿命よりも目標回転モリブデン、モリブデンを測定します。モリブデン回転ターゲットので常にスパッタリングプロセスに回転しているので、その表面に再堆積の現象を生成しません。

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